EDI超纯水技术具有技术操作简便，是清洁生产技术，在微电子工业、电力工业、医药工业、化工工业和实验室等领域日趋广泛的应用。

　　受成本、环境和质量因素的影响， 超纯水的生产工艺在近几十年内经历了很多变化。一个趋势特别明显，即减少对离子交换(IX)的依赖程度，其目的在于将化学药品使用减少到低，并提高水的利用率。

　　反渗透(RO)技术能将水中95-98的离子去除，从而大大减少了酸碱的用量，但还不能完全不使用化学药品。为了制备超纯水，通常采用反渗透+混床工艺。混床离子交换技术一直作为超纯水制备的标准工艺。由于其需要周期性的再生，在再生过程中使用相应的化学药品(酸碱)，已无法满足现代工业清洁生产和环保的需要。于是将电渗析技术和离子交换技术有机结合形成的EDI技术成为水处理技术的一场技术。

　　电去离子(Electrodeionization 简称EDI)是将电渗析膜分离技术与离子交换技术有机地结合起来的一种新的制备超纯水(高纯水)的技术，它利用电渗析过程中的现象对填充在淡水室中的离子交换树脂进行电化学再生。

　　EDI膜堆主要由交替排列的阳离子交换膜、浓水室、阴离子交换膜、淡水室和正、负电组成。在直流电场的作用下，淡水室中离子交换树脂中的阳离子和阴离子沿树脂和膜构成的通道分别向负和正方向迁移，阳离子透过阳离子交换膜，阴离子透过阴离子交换膜，分别进入浓水室形成浓水。同时EDI进水中的阳离子和阴离子跟离子交换树脂中的氢离子和氢氧根离子交换，形成超纯水(高纯水)。超电流使水电解产生的大量氢离子和氢氧根离子对离子交换树脂进行连续的再生。传统的离子交换，离子交换树脂饱和后需要化学间歇再生。而EDI膜堆中的树脂通过水的电解连续再生，工作是连续的，不需要酸碱化学再生。

  　超纯水水质参考标准：

A：需要用户注意的是，分析数据通常依赖于仪器和技术。因此，表1的数字只是基线。每当半导体行业开发新的线宽时，应对此表进行修订。

B：类型E-1.3中显示的值是将国际半导体技术发展蓝图中己知污染物的风险因素与当前半导体加工中的相关线宽的生产制程进行校准的结果，在某些情况下这些值可能会与类型E-1.2中的值不同。用户如果对E-1.2型水使用更高数值，可以放心使用。

除电阻率外，所有值均等于或小于。

C：硼仅作为监测离子交换床的操作参数进行监测。